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光刻膠配方
發(fā)布時(shí)間: 2019-5-29 10:07:13


光刻膠介紹



光刻膠(又稱光致抗蝕劑),是指通過(guò)紫外光、準(zhǔn)分子激光、電子束、離子束、x射線等光源的照射或輻射,其溶解度發(fā)生變化的耐蝕刻材料。光刻膠具有光化學(xué)敏感性,其經(jīng)過(guò)曝光、顯影、刻蝕等工藝,可以將設(shè)計(jì)好的微細(xì)圖形從掩膜版轉(zhuǎn)移到待加工基片。因此光刻膠微細(xì)加工技術(shù)中的關(guān)鍵性化工材料,被廣泛應(yīng)用于光電信息產(chǎn)業(yè)的微細(xì)圖形線路的加工制作。生產(chǎn)光刻膠的原料包括光引發(fā)劑(包括光增感劑、光致產(chǎn)酸劑)、光刻膠樹(shù)脂、單體和其他助劑等。

光刻膠配方分析方法




光刻膠的發(fā)展前景



我國(guó)光刻膠市場(chǎng)規(guī)模2015年已達(dá)51.7億元,同比增長(zhǎng)11%,高于國(guó)際市場(chǎng)增速,但全球占比仍不足15%,發(fā)展空間巨大。2015年我國(guó)光刻膠產(chǎn)量為9.75萬(wàn)噸,而需求量為10.12萬(wàn)噸,依照需求量及產(chǎn)量增速預(yù)計(jì),未來(lái)仍將保持供不應(yīng)求的局面。據(jù)智研咨詢估計(jì),得益于我國(guó)平面顯示和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,我國(guó)光刻膠市場(chǎng)需求,在2022年可能突破27.2萬(wàn)噸。在光刻膠生產(chǎn)種類上,我國(guó)光刻膠廠商主要生產(chǎn)PCB光刻膠,而LCD光刻膠和半導(dǎo)體光刻膠生產(chǎn)規(guī)模較小,相關(guān)光刻膠主要依賴進(jìn)口。放眼國(guó)際市場(chǎng),光刻膠也主要被日本合成橡膠(JSR)、東京應(yīng)化(TOK)、住友化學(xué)、美國(guó)杜邦、德國(guó)巴斯夫等化工寡頭壟斷。



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