精品少妇人妻av一区二区-亚洲成av人综合在线观看-麻豆精品久久久久久久99蜜桃-嫖妓丰满肥熟妇在线精品-丰满少妇人妻无码-久久精品国产9久久综合

服務(wù)領(lǐng)域

您當(dāng)前位置:首頁 >> 服務(wù)領(lǐng)域 >> 服務(wù)領(lǐng)域
CMP拋光材料配方
發(fā)布時(shí)間: 2019-5-29 15:27:33


CMP拋光材料介紹



CMP,即Chemical Mechanical Polishing,化學(xué)機(jī)械拋光。CMP技術(shù)所采用的設(shè)備及消耗品包括:拋光機(jī)、拋光漿料、拋光墊、后CMP清洗設(shè)備、拋光終點(diǎn)檢測(cè)及工藝控制設(shè)備、廢物處理和檢測(cè)設(shè)備等。拋光機(jī)、拋光漿料和拋光墊是CMP工藝的3大關(guān)鍵要素,其性能和相互匹配決定CMP能達(dá)到的表面平整水平。其中拋光漿料和拋光墊為消耗品。其中拋光漿料的成分主要由三部分組成:腐蝕介質(zhì)、成膜劑和助劑、納米磨料粒子。拋光漿料要滿足拋光速率快、拋光均一性好及拋后易清洗等要求。磨料粒子的硬度也不宜太高,以保證對(duì)膜層表面的機(jī)械損害比較輕。


拋光漿料配方分析



現(xiàn)代分析技術(shù)得到了快速發(fā)展,新的分析儀器和分離技術(shù)不斷被開發(fā)和應(yīng)用,比如氣相色譜-質(zhì)譜聯(lián)用儀就可根據(jù)應(yīng)用、進(jìn)樣系統(tǒng)和分析目的不同,有靜/動(dòng)態(tài)頂空氣質(zhì)聯(lián)用儀、熱脫附氣質(zhì)聯(lián)用儀和裂解氣質(zhì)聯(lián)用儀等。其它分析技術(shù)比如液質(zhì)聯(lián)用儀、核磁共振儀、凝膠滲透色譜儀、紅外光譜儀、紫外一可見分光光度計(jì)、熱分析儀、元素分析儀等也可以針對(duì)不同的樣品、基體和分析目的進(jìn)一步細(xì)分。然而各種儀器分析技術(shù)提供的結(jié)構(gòu)、組成和含量等方面的信息不同,如凝膠滲透色譜主要提供高分子材料的相對(duì)分子質(zhì)量及其分布,對(duì)其結(jié)構(gòu)、組成無能為力;核磁共振能夠提供未知物主要成分的結(jié)構(gòu)信息,但對(duì)成分復(fù)雜的樣品解譜難度很大。因此,使用一種分析技術(shù)難以獲得全部的結(jié)構(gòu)、組成和含量等方面的綜合信息,往往需要多種現(xiàn)代分析技術(shù)的聯(lián)用,相互印證不同分析技術(shù)所獲得的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。





拋光漿料的應(yīng)用前景



目前,CMP技術(shù)已經(jīng)發(fā)展成以化學(xué)機(jī)械拋光機(jī)為主體,集在線檢測(cè)、終點(diǎn)檢測(cè)、清洗等技術(shù)于一體的CMP技術(shù),是集成電路向微細(xì)化、多層化、薄型化、平坦化工藝發(fā)展的產(chǎn)物。同時(shí)也是晶圓由200mm300mm乃至更大直徑過渡、提高生產(chǎn)率、降低制造成本、襯底全局平坦化所必需的工藝技術(shù)。以氮化鎵(GaN)為代表的寬禁帶第三代半導(dǎo)體材料近年來發(fā)展十分迅速,氮化鎵(GaN)基半導(dǎo)體材料具有發(fā)光效率高、良好的導(dǎo)熱率、耐高溫、抗輻射、高強(qiáng)度和高硬度等特性,可制成高效藍(lán)、綠光發(fā)光二極管和激光二級(jí)管(又稱激光器)。但氮化鎵(GaN)材料本身不能生長(zhǎng)出單晶,必須生長(zhǎng)在與其結(jié)構(gòu)相類似的襯底材料上。目前國際上公認(rèn)的襯底材料為藍(lán)寶石晶體。隨著氮化鎵(GaN)材料市場(chǎng)需求的增長(zhǎng),對(duì)藍(lán)寶石的需求也會(huì)隨之高速增長(zhǎng)。


[返回列表]
上一篇:濕電子化學(xué)品配方
下一篇:光刻膠配方
關(guān)于我們 | 服務(wù)領(lǐng)域 | 服務(wù)項(xiàng)目 | 技術(shù)資料 | 成功案例 | 新聞動(dòng)態(tài) | 客服中心 | 網(wǎng)站地圖
Copyright ? 2016 杭州飛秒檢測(cè)技術(shù)有限公司 All Rights Reserved

浙公網(wǎng)安備 33010602006612號(hào)

主站蜘蛛池模板: 久久综合精品国产一区二区三区无码 | 国产精品乱码人妻一区二区三区| 青青青国产成人久久111网站| 首页亚洲国产丝袜长腿综合| 亚洲2022国产成人精品无码区| 国产精品怡红院在线观看| 一区二区三区视频在线| 福利视频在线播放| 色噜噜狠狠狠狠色综合久一| 色中色在线播放| a片在线免费观看| yw尤物av无码国产在线观看| 欧美人与动牲交a欧美精品| 精品人妻无码一区二区三区性 | 一级片在线观看| 欧美久久久久| 97夜夜澡人人双人人人喊| 欧美一区二区三区在观看| 日本黄色视| 亚洲自偷自偷在线成人网站传媒| 亚洲欧美天堂综合久久| 日本一区视频| 色偷偷偷| 亚洲精品~无码抽插| 欧美老妇大p毛茸茸| 国产精品videossex久久发布| 日日夜av| 99一区二区三区| 999国产视频| 婷婷精品| 亚洲成人精品在线观看| 性夜影院爽黄a免费视频| 午夜剧场官网| 欧美一区二区在线视频| 日本在线看片免费人成视频1000| 久久9999| 久草热在线视频| 国产综合在线观看| 亚洲精品中文字幕乱码一区二区| h无码精品3d动漫在线观看| 日产国产精品亚洲系列|